作者：孟瑞丽,刘恒,张宏群 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2015年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2015050270 DOC编号：DOCYBJS2015050279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对静电驱动微机械谐振传感器接口动态电容的测量，文中介绍了一种读取接口电路，采用了高频方波对振动信号进行调制，模拟开关进行解调。以静电驱动的某真空封装微机械振动双框架陀螺为例，接口电路实验测试得到的波形与设计预期一致，并利用接口电路和频率扫描方法成功测得微机械振动陀螺驱动模态谐振频率为13.552 k Hz，品质因数为1863。

    📙 相关资料

    1. 《一种微机械谐振传感器的频率读出及分析方法》PDF+DOC 为了对微机械谐振传感器的振动信号频率进行读出及短期稳定度分析，文中以静电驱动的某微机械振动双框架陀螺为例，介绍了频率调制解调的接口信号读取方法，并利用频率计和软件插件对振动频率进行了采样，最后利用Al-lan方差分析了频率的短期稳定性。利用介绍方法测得实验室制作的微机械振动陀螺驱动模态谐振频率为13......
    2. 《光激、光拾硅微机械谐振传感器的进展》PDF+DOC 从基本工作原理着手阐述了光激、光拾硅微机械谐振式传感器，评述了近年来在光激、光拾方式下工作的硅微机械谐振式压力、温度传感器的进展，并就该领域未来的发展作了展望。...
    3. 《压膜阻尼作用下微机械谐振器动力学分析》PDF+DOC 静电驱动微机械谐振器由于其高频率、低功耗和小型化被广泛应用于工作在空气中和液体中的化学传感器和生物物种传感器中。对于微机械谐振器，作为表面效应的空气阻尼以及三次非线性静电刚度会显著影响器件的动态响应特性。通过压膜阻尼理论，探究了双端固支梁在自由振动过程中由于环境压力引起的空气阻尼和三次非线性静电刚度......
    4. 《一种微机械电场传感器的驱动控制分析与数值仿真》PDF+DOC 针对微机械电场传感器高真空金属封装中存在的电荷累积问题，根据传感器的静电驱动力原理，提出了利用屏蔽层活动结构的振动速度反馈信号结合差分梳齿来调节品质因数的方法。鉴于系统的高阶非线性，利用平均周期法分析了常压封装下自激驱动系统的起振条件和稳态振幅。理论和仿真分析表明，该方法是可行的。直流参考电压VR越......
    5. 《硅微机械谐振压力传感器技术的发展》PDF+DOC 现阶段，硅微机械谐振压力传感器应该是稳定性最好及精确度最高的传感器，在航空航天及工业等领域内广泛应用。按照硅微机械谐振压力传感器目前研究成果，对硅微机械谐振压力传感器工作原理进行阐述，分析不同类别硅微机械谐振压力传感器芯体结构，对硅微机械谐振压力传感器未来发展方向进行分析，希望能够增加对硅微机械谐振......
    6. 《差动变压器式传感器的接口芯片AD2S93》PDF+DOC 本文介绍的低功率差动传感器数字输出接口芯片ＡＤ２Ｓ９３是一种完整的传感器接口电路，它不仅可以完成差动变压器式传感器等的信号调理工作，而且还可以完成Ａ／Ｄ变换并将数字信号以串行方式输出。可广泛用于工业自动化、过程控制和精密测量等领域。本文介绍了该芯片的内部结构和工作原理，并给出了实用电路。...
    7. 《惯性传感器的发展趋势》PDF+DOC 概述惯性传感器的主要发展趋势─—固态化、微型化和低成本民用化。...
    8. 《光激光拾自谐振传感器的光学特性及优化设计》PDF+DOC 建立了光激、光拾自谐振多晶硅微机械传感器的多层膜系模型 ，利用该模型对传感器的光学特性进行了理论分析 ，并对传感器谐振微梁厚度和空腔高度进行了优化...
    9. 《基于AD534的新型LVDT信号调理器设计》PDF+DOC LVDT传感器是一种位移传感器。以其快速响应、高寿命、高分辨率、高精度等优点，在机械、电子、航空、汽车等领域获得了极为广泛的应用。本系统设计实现了两个目标：1.对外接LVDT传感器输出的信号进行解调，获得范围为&#177；10V的直流电压输出；2.由外部输入一个范围为&#177；10......
    10. 《低品质因数谐振筒的谐振频率测量系统》PDF+DOC 谐振筒式密度计的测量原理为谐振筒的谐振频率会随筒内液体密度的变化而变化，从而通过测量其谐振频率来达到测量其密度的目的。但由于低品质因数谐振筒在谐振频率附近的幅度与其他频率的幅度区分度太小，导致谐振难以实现。因此如何使低品质因数谐振筒达到谐振状态并测得其谐振频率，是谐振筒式燃油密度传感器激励系统的关键......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。