《光激光拾自谐振传感器的光学特性及优化设计》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《硅微机械谐振压力传感器技术的发展》PDF+DOC 现阶段，硅微机械谐振压力传感器应该是稳定性最好及精确度最高的传感器，在航空航天及工业等领域内广泛应用。按照硅微机械谐振压力传感器目前研究成果，对硅微机械谐振压力传感器工作原理进行阐述，分析不同类别硅微机械谐振压力传感器芯体结构，对硅微机械谐振压力传感器未来发展方向进行分析，希望能够增加对硅微机械谐振......
2. 《光激、光拾硅微机械谐振传感器的进展》PDF+DOC 从基本工作原理着手阐述了光激、光拾硅微机械谐振式传感器，评述了近年来在光激、光拾方式下工作的硅微机械谐振式压力、温度传感器的进展，并就该领域未来的发展作了展望。...
3. 《产品·市场·信息》PDF+DOC 一种灵敏的光激励谐振器压力传感感 近年来硅微机械谐振传感器，特别是用光热方法激励和光学方法检测谐振器固有频率的那些传感器显示出很强生命力。谐振结构的固有频率与结构尺寸和材料性质(如杨氏模量和密度)有关，也与可能作用于该结构的内应力有关。因此这类敏感器件有测最作用力的固有能力。...
4. 《基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究》PDF+DOC 本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上 ，证明其适合于真空环境测量。利用闭环测控电路方式 ，使整机具有良好的灵敏度和可靠性。讨论了测量仪的测量原理、硬件组成和软件设计。该测量仪的真空度测量范围接近 10 2 ～ 10 - 1 Pa，具有......
5. 《新型MEMS质量传感器的研究》PDF+DOC 研究了一种新型MEMS质量传感器的设计、仿真与制造。这种用于流体中微小分子质量检测的MEMS器件，具有高度对称的中空圆盘结构，以谐振的方式工作于简并/解并模态，能在测量时实现对环境波动的自我补偿。器件的中空腔内可以流过被测流体，腔外的真空环境使得圆盘谐振器受到更小的阻尼。利用ANSYS对圆盘在质量吸......
6. 《一种新型微机械谐振式压力传感器研究》PDF+DOC 提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构。该传感器采用了电磁激励和差分检测方式。谐振器的制作采用了30μm厚扩散硅的(100)硅片，从而实现了谐振器与压力膜的一体化，避免了谐振梁与压力膜键合引入的应力，并且工艺简单易于实现。文中介绍了结构的有限元仿真(FEA-ANSYSSimulation)优化，工......
7. 《硅微机械谐振压力传感器技术发展》PDF+DOC 硅微机械谐振压力传感器是目前精度最高、长期稳定性最好的压力传感器之一，是航空航天、工业过程控制和其他精密测量领域压力测试的最佳选择。系统阐述30年来国内外硅微机械谐振压力传感器技术的研究成果，简单介绍硅微机械谐振压力传感器的分类及工作原理，针对压力敏感膜片与谐振器复合结构和振动膜结构两种主要的芯体结......
8. 《国外石英谐振传感器发展现状》PDF+DOC 一、概述石英谐振传感器具有灵敏度高、精度高、环境适应性强、功耗低、寿命长和数字读出等优点。数字传感器具有抗干扰能力强、适宜远距离传输不需要模数转换装置等特点，所以，石英谐振传感器在国际上发展很快，已广泛用于测量压力、差压、荷重、膜厚、温度、液位、加速度、湿度和露点等。石英谐振传感器的核心部件是石英谐......
9. 《硅基热流式微流量传感器研究》PDF+DOC 采用微电子技术和微机械加工技术 ，在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模式下 ，分析了微流量传感器的特性曲线。实验结果表明 ，硅基热流式微流量传感器的测量范围在 1 0～ 80 0 μL/min之间。...
10. 《传感器领域中无处不在的MEMS技术》PDF+DOC 从半导体集成电路技术发展而来的MEMS (微机械电子系统)技术日渐成熟。目前MEMS技术在传感器领域的应用增长较快，特别是在加速度计、压力传感器、红外传感器等应用中， MEMS发挥了巨大的作用，可用于压力和加速度测量等多种应用，这些也极大地推动了传感器技术和MEMS技术的发展。...