作者：谌贵辉,刘建生,李礼,杨帆 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2012年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2012020090 DOC编号：DOCBDTQ2012020099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • MEMS加速度传感器大幅提高了新型地震检波器的各项性能指标。利用有限元软件AN-SYS建立了悬臂硅梁的力学模型，并通过其力学性能仿真，得出优化的设计结构尺寸，即梁长L=150μm，梁宽b=40μm，梁厚h=4μm，活动电极和固定电极的间距d0取为1μm。同时利用电路仿真软件建立了传感器闭环系统的整体仿真数学模型，仿真结果表明其阶跃响应和正弦响应基本和理论分析结果吻合，传感器的分辨率可达0.001 m/s2，频带宽度可达500 MHz。该基于MEMS加速度传感器的新型地震检波器在地震勘探中将具有广阔的应用前景。

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