《一种软性薄膜压力传感器》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《一种薄膜压力传感器及其制造方法》PDF+DOC 申请号：201910486990.7【公开号】CN110108396A【公开日】2019.08.09【分类号】G01L1/20【申请日】2019.06.05【申请人】辽宁尚泽电子科技有限公司【发明人】吉晨阳；丁伟；杨玉卓；张晓奕【摘要】本发明公开一种薄膜压力传感器及其制造方法，薄膜压力传感器安置在汽......
2. 《溅射薄膜压敏芯体长期稳定性研究》PDF+DOC 溅射薄膜压敏芯体是制作薄膜压力传感器的核心敏感器件，测量精度高、长期稳定性好，尤其适合航天、航空等对可靠性、长寿命要求高的军事领域应用。对薄膜压敏芯体制备工艺过程进行分析，探讨影响芯体长期稳定性的原因，针对原因进行工艺改进，可获得高稳定的薄膜压敏芯体。...
3. 《高灵敏度MEMS压力传感器的设计与模型仿真》PDF+DOC 针对人工智能领域，研究人员对高灵敏度的的微型压力传感器的迫切需求，设计基于惠斯通电桥的MEMS压力传感器。相比于其他传感器，微机电压力传感器尺寸更小，灵敏度更高。传感器表面的压敏薄膜中制有惠斯通电桥电路，电桥的输出电压与应力大小呈线性关系，输出电压的大小则表示压敏薄膜的灵敏度高低。通过ANSYS软件......
4. 《一种测力鞋垫系统的设计研究》PDF+DOC 双足机器人的零力矩点(ZMP，zero moment point)位置的确定在机器人的控制中起着重要作用，足底压力分布测试鞋垫是测量足底压力分布并进而确定零力矩点的一种行之有效的先进手段.为了将鞋垫有效运用于实验室的双足机器人之上，将其在人足上进行实验.选用了美国Tekscan Flexiforce......
5. 《一种大量程压力传感器的结构优化设计与仿真分析》PDF+DOC 设计了一种大量程硅压阻式压力传感器，通过理论模型分析优化传感器结构尺寸，保证薄膜的线性变化和抗过载能力；并通过有限元建模分析可动薄膜位移及应力随压力变化关系，对结构进行优化设计；同时用有限元仿真验证理论分析的正确性。通过理论与仿真优化分析，提出了采用C型膜片一体化硅压阻式压力传感器结构，可动薄膜选用......
6. 《一种天线组件及毫米波雷达传感器》PDF+DOC 申请号：201720796409.8【公开号】CN206931703U【公开日】2018.01.26【分类号】H01Q1/22；H01Q1/50；G01S7/282；G01S13/02【申请日】2017.07.03【申请人】北京润科通用技术有限公司【发明人】田海燕；顾翔；张学健；周大卫【摘要】本实用......
7. 《薄膜压力传感器高抗电介质层技术研究》PDF+DOC SiO_2薄膜是薄膜压力传感器绝缘层的一种常用材料，其性能直接影响着传感器的抗电能力。利用化学气相沉积系统(CVD)对SiO_2薄膜的制备工艺进行了探索和优化，通过改变射频功率、反应气体流量比，制备出适用于高抗电薄膜压力传感器的SiO_2绝缘层，其抗电能力可达300V/AC。...
8. 《带锥敏感薄膜形变特性有限元仿真》PDF+DOC 在一种新的基于真空二极管原理的场发射压力传感器中 ，阴极发射尖锥体和敏感薄膜制备于同一硅片上 ，从而简化了传感器的封装工艺 ，但因此可能导致传感器灵敏度的减小。利用有限元仿真技术 ，计算了在外部压力作用下 ，几何形状比较复杂的带尖锥体敏感薄膜的横向挠度形变特性。计算结果表明 ，与不带尖锥体的敏感薄膜......
9. 《基于共振隧穿二极管的GaAs基压力传感器研制》PDF+DOC 为了突破传统的机电转换效应的宏观物理局限，为更高灵敏度、更低功耗的微/纳机电压力传感器的设计提供理论、工艺及实验依据，首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTD)的GaAs基薄膜压力传感器，实现了RTD工艺与微机械加工技术的工艺集成.测......
10. 《用于高温压力传感器的AlN绝缘膜的研究》PDF+DOC 采用直流磁控反应溅射法制备了高温压力传感器用的AlN薄膜。用X射线衍射对薄膜的晶向结构进行了分析，研究了薄膜的绝缘特性和化学稳定性，分析了AlN与Si的热膨胀系数、热导系数的关系。选用AlN在力敏电阻条和硅弹性膜之间进行绝缘隔离，由于无p-n结，力敏电阻无反向漏电，得到了极好的压力传感器特性，即零点......