《硅压阻式传感器的优化分析》PDF+DOC

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2. 《扩散硅压力传感器》PDF+DOC 扩散硅压力传感器是利用力敏器件制成的一种新型的压力传感器。由于它测量精度高，体积小，重量轻，工作可靠，频率响应快等优点，受到了人们高度重视。近几年来，正逐渐被应用到科技与生产各部门中去。扩散硅压力传感器的核心部分是力敏器件。故本文着重对力敏器件的有关问题作介绍。...
3. 《硅压力传感器芯片的制造方法》PDF+DOC 前言硅压力传感器的机芯是利用硅材料的压阻特性制作的力敏器件。它具有灵敏度高、精度高、动态响应快、稳定性好、易于小型化、使用方便、可靠性好等特点，因而得到了广泛的应用。目前，由于科学技术的发展，对元件的稳定性及可靠性提出了更高的要求，还要求提高成品串和降低成本。因而，国内外都在进行大量的研究和试制工作......
4. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件 ，硅梁作为二次敏感元件的热激励硅谐振式压力微传感器进行了较系统的研究 ：建立了微传感器敏感结构的工程用数学模型 ；以所建立的模型实际设计了敏感结构参数 ：方形膜边长 4 mm，膜厚 0 .1 mm，梁谐振子长...
5. 《半导体压力传感器与微机的相接》PDF+DOC 大部分流行的硅压力传感器都是压阻桥，根据加到薄硅膜片上的压力产生一个差分输出电压。这些传感器的输出电压一般是满度２５～５０ｍＶ。因此，连接到微机一般涉及到放大较小的输出电压，完成差分到单端的变换，并把模拟信号换算成适合模／数转换的量程。另外，模拟压力..。...
6. 《压阻型α((6H)碳化硅压力传感器可在高达600℃的高温下工作》PDF+DOC 新泽西州Leonia的Kulite Semi-conductor Products公司的研究人员研制成功一种基于膜片的压阻碳化硅(SiC)压力传感器，其工作温度可能超过600℃。这么高的温度范围远超过目前的常规硅传感器。KuliteSemiconductor Products公司首批生产的传感器工作......
7. 《MOS集成硅压力传感器》PDF+DOC 一种MOS集成硅膜片压力传感器已研制成功，它包括在半桥电路中的二个压敏电阻和一个带有单端 N M O S 运算放大器的新型简单的信号调节电路。半桥上压力敏感度的负温度系数由带有温度敏感集成反馈电阻的变增益放大器的正温度系数来补偿。除了膜片的构成采用了 N_2H_4&#183；H_2O 各向异......
8. 《剪切应力对压阻传感器灵敏度的影响》PDF+DOC 本文从理论上和实验上对剪切应力对力敏电阻的压阻灵敏度影响进行了研究.在本文的分析中，取消了已往工作中对力敏电阻设计的取向限制，在计入剪切应力项作用的情况下，得到了(100)、(110)，(111)圆硅膜和(100)方膜和长方膜上力敏电阻的压阻灵敏度表式.结果的解析形式及其曲线图示表明，在一般情况下，......
9. 《硅压阻式传感器的温度特性及其补偿》PDF+DOC 基于硅压阻式传感器的工艺过程与后续电路设计 ，讨论了减小其温度影响的措施。文中对在相同的硅基底上 ，采用诸如扩散、离子注入、薄膜淀积以及溅射等不同加工工艺制作实现的不同的压敏电阻特性 ，特别是温度特性进行了探讨和比较。针对一种具体的硅杯结构的压阻式传感器 ，设计、选择了加工工艺 ，给出了压敏电阻的近......
10. 《压阻式金刚石压力微传感器的制作与测试》PDF+DOC 由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性，适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm〈100〉硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石薄膜作为绝缘隔离层，通过掩模选择性生长法得到掺硼金刚石薄膜电阻条，再经金属化处理和腐蚀硅压力腔，得到了压阻式金刚石压力微传感器的原型器件。对该器件的压力输出特性测量表明，......