作者：储昭志,彭春荣,任仁,凌必赟,张洲威,夏善红 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2019年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2019060230 DOC编号：DOCCGQJ2019060239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种基于微机电系统(MEMS)的扭转谐振式电场传感器。该微型电场传感器的感应电极与屏蔽电极采用共面叉指结构，首次采用扭转谐振的工作方式，显著提高了微型电场传感器的灵敏度。介绍了传感器的工作原理、结构设计、有限元仿真及实验。实验结果表明：在0～50 kV/m电场范围内，该传感器的线性度为0. 14%，3个往返行程的总不确定度优于0. 43%。在增益电阻为100 MΩ的情况下，传感器灵敏度达到4. 55 mV/(kV/m)，相对已有传感器灵敏度提高了1个数量级。

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