作者：张勇,张剑,熊国宏 单位：山东省技术开发服务中心 出版：《科技信息》2010年第35期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKJXX2010350840 DOC编号：DOCKJXX2010350849 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • MEMS技术是一门新兴的技术，是多种学科交叉融合的前沿高技术，近年来越来越受到世界各国的重视。本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、及主要应用。

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