作者：包涵菡,李昕欣,张志祥,王跃林,于海涛,刘民 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2007年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2007100220 DOC编号：DOCCGJS2007100229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 扭转谐振模态微悬臂梁低能耗、高品质因数的特性，使它比传统的弯曲模态悬臂梁拥有更高的灵敏度和分辨率.将微传感器加工技术和生物检测技术相结合，利用扭转谐振模态微悬臂梁传感器对生物素和亲和素的特异性反应进行检测，结果传感器的灵敏度为0.9pg/Hz，分辨可达到49fg.本文还着重介绍了为谐振梁传感器设计的以锁相环(Phase-Locked Loop简称PLL)为核心的闭环接口电路，分析了悬臂梁和电路在闭环系统中的工作特性，并探讨了解决谐振式传感器在使用中常见的稳定性差、噪声干扰强等问题的方法.：

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