作者：汪祖民,韩泾鸿,任振兴,杨海钢,夏善红 单位：东南大学 出版：《电子器件》2007年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ2007030020 DOC编号：DOCDZQJ2007030029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《新型pH-ISFET芯片系统研究》PDF+DOC2007年第10期 汪祖民,任振兴,韩泾鸿,边超,杨海钢,夏善红 《MEMS负电晕放电气体传感器》PDF+DOC2016年第08期 张金英,杨天辰,何秀丽,高晓光,贾建,李建平 《宽响应范围的MEMS热电偶真空度传感器》PDF+DOC2015年第12期 雷程,毛海央,欧文,薛晨阳,唐力程,杨涛,陈大鹏,熊继军 《用于MEMS器件的ASIC集成温度传感器设计》PDF+DOC2016年第04期 李雨佳,杨拥军,任臣,刘德盟 《热Σ-Δ调制技术及在MEMS气体传感器中的应用》PDF+DOC2015年第08期 张旭辉,徐爱东 《一种硅基MEMS电离式气体传感器》PDF+DOC2018年第12期 董续盛,王孜,王艳芳,朱文欢,刘海,刘越,侯中宇 《基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感芯片》PDF+DOC2006年第03期 佟建华,刘梦伟,崔岩,王兢,崔天宏,王立鼎 《基于微电子系统(MEMS)加速度地震勘探三分量数字检波器简介》PDF+DOC2006年第02期 张莉,解文荣,李秀荣 《基于MEMS技术的微型惯性导航系统的发展现状》PDF+DOC2004年第06期 李荣冰,刘建业,曾庆化,华冰 《MEMS微型热敏传感器数值模拟》PDF+DOC2011年第12期 王竹萍,丁英涛,刘汝卿

    • 微电子技术的快速发展，促使硅基传感器向着集成化、微型化、可批量加工方向发展.对于pH-ISFET集成芯片而言，如何以MEMS工艺制备性能优良的pH功能膜，是其发展的关键.目的：以适合批量加工的MEMS工艺研制pH功能膜；方法：在小尺寸集成芯片的基础上，以MEMS工艺分别制备Ta2O5材料的pH敏感膜，PTFE材料的pH钝化膜；结果：在pH1～12范围内，Ta2O5膜pH-ISFET对H+的灵敏度达56mV/pH，PTFE膜REFET对H+的响应仅为0.13mV/pH；结论：采用MEMS工艺，可对以标准CMOS技术加工的ISFET集成芯片系统，进行后续加工，从而实现传感器芯片系统的全过程批量加工。

    📙 相关资料

    1. 《新型pH-ISFET芯片系统研究》PDF+DOC 该文研究设计一种新型ISFET/REFET/PRE传感器与信号检测电路集成于一体的芯片系统。采用商业标准CMOS工艺实现了基础集成芯片，探索研究与集成芯片兼容的敏感薄膜制备技术及其相关后续工艺，着重研究电聚合法制备的H~+敏感PPy膜；与采用低温Ta_2O_5敏感薄膜技术研制的集成芯片进行了比较。集......
    2. 《MEMS负电晕放电气体传感器》PDF+DOC 设计并制备了一种基于负电晕放电原理及微机电系统(MEMS)技术的多针-板型气体传感器。研究了电极间距对传感器放电特性的影响，综合考虑起晕电压、信号输出范围及稳定放电范围，优化电极间距为120μm。测试了传感器在体积分数均为6&#215；10~(-4)的乙酸、异丙醇、乙醇和丙酮四种有机气体中的......
    3. 《宽响应范围的MEMS热电偶真空度传感器》PDF+DOC 报道了一种基于双层多晶硅材料的MEMS热电偶真空度传感器。该器件采用双层热偶排布方式可进一步减小器件横向尺寸，同时采用XeF_2各向同性正面刻蚀技术释放形成微腔结构，该技术避免了湿法腐蚀工艺复杂、不易控制等缺陷。在器件制备的基础上，对该器件在不同真空度条件下的响应特性进行了测试，测试结果表明该器件在......
    4. 《用于MEMS器件的ASIC集成温度传感器设计》PDF+DOC 设计了一款集成于微电子机械系统(MEMS)器件专用集成电路(ASIC)的数字输出CMOS温度传感器。该温度传感器主要由温度敏感电路、一阶Σ-Δ调制器以及配套的偏置电路和时钟产生电路组成。通过分析和建模仿真，确定信号的比例系数和其他设计参数，优化调制器的动态范围，提高了精度。利用斩波技术减少运算放大器......
    5. 《热Σ-Δ调制技术及在MEMS气体传感器中的应用》PDF+DOC 微加热器是MEMS气体传感器的重要功能部件，其结构设计与温度控制是MEMS气体传感器设计的重要环节。针对一类典型MEMS气体传感器设计了一款采用热Σ-Δ调制技术的电路，对其微加热器进行闭环温度控制，相比传统的模拟闭环控制电路，该电路结构简单，对元件失配性要求低，在实现温度控制的同时实现了加热器激励信......
    6. 《一种硅基MEMS电离式气体传感器》PDF+DOC 在室内环境控制领域，对作为信号转换反馈节点的气体传感器提出了2大挑战：一是气体浓度变化范围大；二是许多具有相似化学性质的不同气体混合物难于快速辨识。为解决上述难题，文中提出了一种兼容微电子机械系统(micro-electromechanical systems，MEMS)制造工艺的、带有微纳米功能结......
    7. 《基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感芯片》PDF+DOC 为了测量毫克级的微小力，设计并制造了一种硅基PZT薄膜悬臂式微力传感芯片。采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了厚度不同(300~800 nm)的锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3)薄膜，薄膜表面均匀，无裂纹。通过测试和分析，研究了PZT薄膜的制备工艺参......
    8. 《基于微电子系统(MEMS)加速度地震勘探三分量数字检波器简介》PDF+DOC 基于微电子机械系统(MEMS)制成的微加速度三分量数字地震检波器，集数据采集、处理及传输功能于一体，在结构模型、工作原理、性能指标控制等方面不同于常规检波器，其信号幅值在低于自然频率范围内没有衰减。因其独特的制造技术，MEMS检波器具有超低噪声，大动态范围和极高的向量保真度性能。...
    9. 《基于MEMS技术的微型惯性导航系统的发展现状》PDF+DOC 根据美国 DARPA(the Defense Advanced Research Projects Agency)资助项目的概况，介绍了微电子机械系统(MEMS)惯性传感器领域的新进展，对 DARPA 的特别项目 MEMS-INS(Inertial...
    10. 《MEMS微型热敏传感器数值模拟》PDF+DOC 借助计算流体动力学软件Fluent，采用有限体积法、非定常N-S方程、Realizable k-ε湍流模型及无滑移壁面边界条件对微电子机械系统(MEMS)微型热敏传感器进行三维数值模拟.全面地分析了传感器绝缘层材料、空腔内介质材料以及结构尺寸参数对其灵敏度的影响情况，探讨了提高传感器灵敏度的方法.同......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。