作者：张为 单位：北京国际科技服务中心 出版：《科技资讯》2007年第34期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZXLJ2007340440 DOC编号：DOCZXLJ2007340449 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微型电子机械系统(MEMS)是当代电子技术的又一重大突破，是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，其发展正受到社会的普遍关注。MEMS问世以来，已开发、研制了名种产品，其中尤以传感器类的产品为多。该技术将对未来人类生活产生革命性的影响这些产品已广泛应用于汽车工业、生物医学技术、仪器仪表制造业。本文将扼要介绍具有多种流量传感功能的MEMS。

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