作者:尚慧琳,宋书峰,文永蓬 单位:中国振动工程学会;上海交通大学;上海市振动工程学会 出版:《振动与冲击》2016年第04期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZDCJ2016040130 DOC编号:DOCZDCJ2016040139 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一类静电驱动微结构谐振传感器的吸合不稳定性研究及控制》PDF+DOC2013年第15期 尚慧琳,文永蓬 《MEMS固态引信硅微结构的力学分析与设计》PDF+DOC2000年第S1期 金磊,高世桥,李文杰 《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC1999年第01期 徐毓龙,徐玉成 《单片集成MEMS技术》PDF+DOC2005年第03期 江建明,娄利飞,汪家友,杨银堂 《微机电系统的研究与展望》PDF+DOC2011年第03期 陈勇华 《微机电系统的研究与应用》PDF+DOC2014年第01期 肖顺 《微机电系统(MEMS)技术及发展趋势》PDF+DOC2004年第01期 王亚珍,朱文坚 《基于多孔硅牺牲层技术的压阻式加速度传感器的分析和设计(英文)》PDF+DOC2003年第07期 周俊,王晓红,姚朋军,董良,刘理天 《阵列式MEMS仿生矢量振动传感器研究》PDF+DOC2012年第09期 刘林仙,张国军,许姣,张慧,李振,张文栋 《一种微机械加速度计的自检测特性研究》PDF+DOC2008年第03期 陈伟平,韩天,赵振刚,刘晓为,孙立宁,曹伽牧
  • 针对微结构在静电力作用下的吸合不稳定问题,考虑一类典型的单自由度静电驱动微传感器振动系统,将时滞位置反馈施加在系统的直流偏置电压上,研究引起微结构的动态吸合和吸合不稳定的系统参数条件,以及时滞反馈对吸合不稳定的抑制机理。运用Melnikov函数法得到时滞受控系统中引起结构吸合不稳定的交流电压的临界幅值。并基于时滞受控系统的安全域随控制参数的演变,定量上研究时滞反馈对吸合不稳定的控制。数值结果和理论分析均表明:在正的反馈增益系数和较小的时滞量下,时滞位置反馈能够有效地抑制静电驱动微结构的吸合不稳定现象。

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