作者：李洪辉,黄志刚,杨青天,邓宇 单位：华北光电技术研究所 出版：《激光与红外》2017年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJGHW2017080050 DOC编号：DOCJGHW2017080059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 激光诱导向前转移是近些年来兴起的一种微加工技术，可以用来转移金属材料、生物材料和各向异性材料等。进行了利用纳秒激光诱导沉积高粘度导电银浆的实验研究，并对接收层上沉积的银浆进行观察分析，探讨了激光脉冲能量和与接收层的距离对沉积效果的影响，分析了沉积过程，沉积出连续银浆导线，并分析其导电特性。实验发现，当激光脉冲能量为87μJ，与接收层的距离为40μm时，沉积点均匀稳定，直径为一百多微米。通过调节三维平台带动靶材移动，用交叉打点的方法进行沉积，可制备出连续银浆导线，导线的宽度约100μm，电阻率达6.12&#215；10~(-8)Ωm，与靶材的电阻率相差不大，可以用于微电路和微传感器等的制备。一维线状连续微结构的成功制备，为以后沉积二维微结构，甚至三维结构奠定了基础。

    📙 相关资料

    1. 《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC 简要介绍微机电系统在各个领域的应用。...
    2. 《纳秒激光在铜靶材中诱导冲击波的实验研究》PDF+DOC 基于聚偏二氟乙烯压电传感器，对铜靶材中纳秒激光脉冲诱导的冲击波传播过程进行了实验研究，给出了铜靶材内冲击压强随激光脉冲能量和靶材厚度的变化规律.实验结果表明：500 m J激光脉冲能量作用到2 mm厚的铜靶材产生的冲击压强达到2.1 MPa；激光脉冲能量从200 m J增加到500 m J，在铜靶材......
    3. 《时滞位置反馈对一类静电微传感器的吸合不稳定的控制研究》PDF+DOC 针对微结构在静电力作用下的吸合不稳定问题，考虑一类典型的单自由度静电驱动微传感器振动系统，将时滞位置反馈施加在系统的直流偏置电压上，研究引起微结构的动态吸合和吸合不稳定的系统参数条件，以及时滞反馈对吸合不稳定的抑制机理。运用Melnikov函数法得到时滞受控系统中引起结构吸合不稳定的交流电压的临界幅......
    4. 《LIGA技术及其在制造可动微结构件中的应用》PDF+DOC 介绍了将LIGA技术及其与牺牲层技术相结合 ，制造可动微结构的工艺方法。并给出了可实现摆动、转动的可动微结构———微执行器、微传感器和三维加速度传感器的制造过程等应用实例...
    5. 《具有定制截面的大面积轻量红外像元》PDF+DOC 本发明与红外像元列阵中使用的一种像元结构有关，更准确地说，本发明的结构是用于微发射器或微热辐射计的。在微发射器应用中，本发明的像元可以作为像元列阵的一部分用于实施红外投影。而在微传感器...
    6. 《源于IC、超越IC 微机电技术迈向标准化》PDF+DOC 被公认为新世纪最有潜力的制造技术之一的MEMS，结合了硅加工制程、X光深刻精密电铸模造成形和精密机械加工等多种微加工技术，可生产出微传感器、微致动器、微系统等组件装置。...
    7. 《单片集成MEMS技术》PDF+DOC 介绍了单片集成MEMS技术相对传统混合(hybrid)方法的优势；分析了单片集成MEMS技术实现的难点，同时，给出了目前与CMOS工艺兼容的多种单片集成MEMS的技术特点、工艺流程；详细阐述了目前各种post CMOS技术。最后，给出单片集成MEMS技术的未来发展趋势。...
    8. 《引信中应用的加速度传感器的研制》PDF+DOC 讨论了应用于引信中的高g微阵列式加速度传感器的设计理论、布阵方法和微加工工艺。讨论过程中，针对测量不同的加速度值，利用了不同的设计方法和加工工艺及二维传感阵列的布阵设计上的特点，将微加工中三维加工工艺与平面加工工艺相结合，利用体加工技术和高深宽比刻蚀技术，研制出了微阵列加速度传感器的样品。经测试表明......
    9. 《CMOS MEMS技术的现状及展望》PDF+DOC 简要介绍了MEMS的发展状况及CMOS工艺在MEMS中的地位。主要介绍了pre-CMOS，interme-diate-CMOS和post-CMOS三种不同的CMOSMEMS工艺。详细讨论了CMOSMEMS今后将面临的挑战及其未来应用领域，最后，根据国内情况对我国CMOSMEMS的发展提出了建议。...
    10. 《快速检测糖化血红蛋白的免疫微传感器》PDF+DOC 研制基于标准CMOS工艺和微加工技术的微型糖化血红蛋白免疫传感器，可用于血液中糖化血红蛋白浓度与血红蛋白浓度的快速检测.该微传感器包括含有信号读出电路的传感集成芯片和一次性测试试条，实现了对4~24μg/mL糖化血红蛋白和60~180μg/mL血红蛋白的检测，响应时间小于3 min，试剂用量10μL......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。