作者：李文望 单位：厦门理工学院 出版：《厦门理工学院学报》2001年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLGZY2001020110 DOC编号：DOCLGZY2001020119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文阐述微电子机械系统技术特点、加工工艺、发展前景及其国内外发展的动态 ，微电子机械技术在环境科学和生物医疗上的应用

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