作者:赵志诚 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》1997年第06期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS706.0000 DOC编号:DOCYBJS706.0009 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微电子机械技术的现状与发展》PDF+DOC1997年第07期 赵志诚 《微电子机械技术的发展与现状》PDF+DOC2001年第06期 杨宏,王鹤 《微电子机械技术的研究和发展趋势》PDF+DOC2005年第01期 余丹铭,梁利华,许杨剑 《MEMS技术的现状和发展趋势》PDF+DOC2001年第01期 刘光辉,亢春梅 《MEMS器件的计算机辅助设计与模拟》PDF+DOC2001年第04期 孙克豪,钱劲,张立宪,余同希,赵亚溥 《微电子技术中常用材料的机械性能》PDF+DOC1992年第05期 黄金彪,茅盘松 《CMOS MEMS技术的现状及展望》PDF+DOC2004年第04期 胡明,崔梦,田斌,窦燕巍 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫 《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC2007年第05期 荣烈润
  • 】微电子机械技术是国际上新兴的科学前沿,它的发展会象微电子技术那样引发一场新的产业革命。本文介绍了微电子机械技术的主要工艺以及在微结构、微传感器、微执行器和微系统方面的研究进展,并对今后的研究动态进行了论述。

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