作者：杨宏,王鹤 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2001年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2001060010 DOC编号：DOCMINI2001060019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 文章回顾了微电子机械技术的发展历程和研究内容 ，介绍了国内外一些具有发展前景的微电子机械系统 ，以期揭示未来的发展方向

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