作者：王珊珊,宋亮,党向婷 单位：北京方略信息科技有限公司 出版：《国外电子测量技术》2014年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGWCL2014010140 DOC编号：DOCGWCL2014010149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • QMEMS晶振是一种采用MEMS(micro-electro-mechanical system)加工技术充分发挥石英(Quartz)晶体材质特性制造出的高性能、高集成度的新型石英晶振。利用QMEMS晶振体积小、性能稳定的特点，提出将QMEMS晶振作为传感器内置于MEMS器件管壳内部，对MEMS器件腔体内部真空度进行实时监测的方法。在对石英晶振测量真空原理进行分析的基础上，研究了QMEMS晶振的结构和管壳开口方法，设计了一套基于QMEMS晶振气压传感器的真空度测量系统，实现了对真空度的测量，并对系统进行了标定。试验表明，该真空计可实现1~30kPa压强范围的测量，测量精度约为5%，能满足MEMS器件实时真空度测量要求。

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