《微机电系统科学与技术发展趋势》PDF+DOC

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2. 《体微加工技术在MEMS中的应用》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)技术的基础是由微电子加工技术发展起来的微结构加工技术，包括表面微加工技术和体微加工技术。其中体微加工技术是微传感器、微执行器制造中最重要的加工技术。该文主要介绍以加工金属、聚合物以及陶瓷为主的LIGA技术，先进硅刻蚀技术(ASE)和石英晶体深槽湿法刻蚀技术。最后给出用LIGA技......
3. 《微机电系统的研究与展望》PDF+DOC 微机电系统是面向21世纪的高新技术。文章对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现 状及应用前景进行了全面分析。在此基础上，论述了MEMS未来发展的趋势。...
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5. 《微电子机械系统技术应用研究》PDF+DOC 微电子机械系统(MEMS)技术是一个新兴的技术领域，文中介绍了该技术的基于概念、技术特点和关键技术，讨论了微电子机械系统的研究领域、发展现状及发展趋势。...
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7. 《中国微纳制造研究进展》PDF+DOC 介绍了中国微纳制造领域的总体概况。从微构件力学性能、微纳摩擦磨损及粘附行为研究、典型微流体器件输运特性研究、拓扑优化技术在微纳结构设计中的应用研究、微传热学的研究和微测试方法和装置的研究具体介绍了微纳制造基础理论方面取得的进展。从设计方法、硅基微机电系统(Micro electro mechanic......
8. 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC 概述了微机电系统的结构和特点，介绍了微机电系统的研究和应用领域。...
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10. 《微机电系统与微细加工技术》PDF+DOC 微系统是微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统。微系统的习惯术语有：MEMS(Micro Electro-Mechanical System，微机电系统)或MOEMS(微光机电系统，美国)、Micro-Machine(微机械，日本)、Micr......