作者：魏世钧 单位：中国航天科技集团公司第七O四研究所 出版：《遥测遥控》1998年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYCYK802.0010 DOC编号：DOCYCYK802.0019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 论述了微机械技术对传感器发展的巨大推动作用及其在航天传感器上的应用前景，并介绍了微机械技术在传感器上近期应用研究的主要内容。

    📙 相关资料

    1. 《微机械技术在航天传感器技术中的运用分析》PDF+DOC 微机械技术是一种新兴的机械工业技术，其有着智能化、微型化、分辨力高的特点，利用微机械技术能够开发出一批性能优良的传感器，在航天领域的应用十分广泛。基于以上，文章从微机械技术分析入手，探讨了微机械技术在航天传感器技术中的运用优势，并研究了微机械技术在航天传感器中的具体运用。...
    2. 《微机械技术在航天传感器技术中的应用研究》PDF+DOC 随着新技术的不断发展，机械工业技术中的一种新技术——微机械技术，也得到了高速发展。目前，它在航天工程的传感器技术中也得到广泛研究和应用。本文从微机械技术对航天传感器的作用出发，着重研究微机械技术在航天传感器技术中的应用前景。...
    3. 《微机械技术在航天传感器技术中的应用分析》PDF+DOC 对微机械技术进行了简要介绍，着重分析了其在航天传感器技术中的具体应用，并对我国微机械技术的发展现状及未来趋势进行了简要的论述。...
    4. 《高可靠性压力传感器的设计与研究》PDF+DOC 基于MEMS技术的压阻式压力传感器在工业领域应用广泛，传感器的可靠性设计是传感器技术的研究热点，针对汽车电子、石油化工等领域对高可靠性压力传感器的需求，提出了高可靠性压力传感器的设计方法。最后，通过可靠性强化试验对设计的传感器进行可靠性评价，试验结果表明该传感器具有极高的可靠性。...
    5. 《微电子机械技术的发展与现状》PDF+DOC 文章回顾了微电子机械技术的发展历程和研究内容 ，介绍了国内外一些具有发展前景的微电子机械系统 ，以期揭示未来的发展方向...
    6. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件 ，硅梁作为二次敏感元件的热激励硅谐振式压力微传感器进行了较系统的研究 ：建立了微传感器敏感结构的工程用数学模型 ；以所建立的模型实际设计了敏感结构参数 ：方形膜边长 4 mm，膜厚 0 .1 mm，梁谐振子长...
    7. 《用于汽车的硅压力和加速度传感器》PDF+DOC 用于汽车的硅压力和加速度传感器张传忠许多压力和加速度传感器都是以硅微电子学技术为基础的。由于硅传感器可作为敏感元件与表面电路集成在同一基片上，所以硅压力传感器广泛地用来检测歧管绝对压力。与普通的应变现传感器相比，硅的机械和弹性特性要好得多。它作为一种..。...
    8. 《MLG2型加速度传感器工艺研究》PDF+DOC MLG2型加速度传感器是采用半导体应变片做敏感元件的压阻式传感器，为贴片式悬臂梁结构形式。其特点是体积小，重量轻、灵敏度高、频带宽。不足之处是受温度变化的影响较大。根据这些特性，为了保证传感器质量，提高测量精度。必须制定相应的工艺规程。现对工艺流程的确定和几项关键的装配工艺的研究...
    9. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 针对一种以矩形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件采用电阻热激励、压敏电阻拾振的谐振式压力微传感器 ，简述了其工作机理 ；从谐振式硅微传感器整体优化设计、闭环系统优化设计、微弱信号检测、敏感元件工艺实践、开环特性测试等方面介绍了该传感器研究与研制过程中近期取得的阶段性研究结果...
    10. 《微机械加速度传感器及应用》PDF+DOC 叙述了各种微机械加速度传感器的工作原理、特点、研究现状及发展趋势。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。