作者：欧益宏,温志渝,周民来 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2003年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2003040240 DOC编号：DOCYDSG2003040249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《真空微电子触觉传感器场致发射阵列的研究》PDF+DOC1998年第04期 温志渝,何清义,江永清,林鹏,蒋子平 《台阶阵列阴极真空微电子压力传感器研究》PDF+DOC1996年第03期 夏善红,崔大付,韩泾鸿,陈绍凤,王利 《硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试》PDF+DOC2002年第01期 陈绍凤,夏善红 《新型Spindt阴极阵列磁敏传感器的研究》PDF+DOC2000年第02期 邓宁,朱长纯 《金属尖阴极阵列制备的研究》PDF+DOC1999年第02期 陈德英,唐国洪 《新型真空微电子压力传感器特性研究和实验制作》PDF+DOC1997年第12期 夏善红,刘加,陈绍凤,韩泾鸿,崔大付 《真空微电子传感器进展》PDF+DOC1994年第05期 刘君华 《真空微电子压力传感器的研制》PDF+DOC2004年第06期 温志渝,温中泉,徐世六,刘玉奎,张正元,陈刚,杨国渝 《一种新型真空微电子压力传感器的研制》PDF+DOC2001年第02期 张正元,徐世六,温志渝,张正璠,黄尚廉 《阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究》PDF+DOC2001年第01期 陶新昕,夏善红,苏杰,陈绍凤

    • 主要介绍利用反应离子腐蚀和等离子腐蚀相结合的方法制作真空微电子压力传感器中锥尖阵列。探讨合理选择制作材料，优化锥尖形状，锐化锥尖尖度，以提高传感器灵敏度，增大阴极锥尖的发射电流。测试结果表明：优化的锥尖发射电流在电压为3V时可达0.2nA，灵敏度为0.1μA/g。

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