作者:李军俊,刘理天,杨景铭 单位:清华大学 出版:《清华大学学报(自然科学版)》1999年第S1期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFQHXB9S1.0210 DOC编号:DOCQHXB9S1.0219 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机械力敏传感器及其发展动向》PDF+DOC1996年第10期 鲍敏杭,沈绍群 《高灵敏度谐振式微加速度传感器的设计与制作》PDF+DOC2011年第08期 涂晟,王军波,商艳龙,陈德勇 《关于谐振式硅微结构压力传感器的综合研究》PDF+DOC2015年第06期 肖兵兵,王奇帅,赵鹏辉,罗坤 《静电力驱动在现代传感技术中的应用》PDF+DOC2018年第08期 孙浩诚 《微结构谐振梁式压力传感器研究》PDF+DOC2000年第04期 陈德勇,崔大付,王利,韩泾鸿 《压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真》PDF+DOC2003年第S1期 隋丽,石庚辰 《两维碰撞加速度传感器及其实用化》PDF+DOC2009年第S1期 周伟,刘民,姜伟,李昕欣 《八梁硅微加速度传感器横向灵敏度的研究》PDF+DOC2008年第01期 范波,熊继军,郭涛,毛海央,王敏 《基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究(英文)》PDF+DOC2007年第03期 陈健,陈德勇,王军波 《介观压阻效应在硅微加速度计中的应用》PDF+DOC2007年第29期 王辉,吴瑞,温廷敦
  • 研究了一种新型的谐振式硅微加速度传感器,对其结构和工艺进行设计,并制作出了一系列不同结构和尺寸的这种器件。该加速度传感器在制作支撑梁的同时制作了用于检测信号的谐振梁,并采用电阻热驱动、压阻桥同步检测的方法来获得信号输出。设计方案利用了压阻传感技术和体硅微加工技术,又拥有谐振原理所带来的高分辨率,高稳定性和易于与信号处理电路结合的优点,以较低的成本获得了很高的器件性能。其结构尺寸从3mm×4mm到6mm×6mm不等。

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