作者：孙克豪,钱劲,张立宪,余同希,赵亚溥 单位：中国机械工程学会;郑州机械研究所 出版：《机械强度》2001年第04期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXQD2001040190 DOC编号：DOCJXQD2001040199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《论微电子机械系统MEMS》PDF+DOC2004年第03期 鄢云 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫 《微系统与纳系统技术(上)》PDF+DOC2001年第09期 周兆英,冯焱颖 《微电子机械系统计算机辅助设计》PDF+DOC1999年第10期 黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇 《微电子机械技术的现状与发展》PDF+DOC1997年第06期 赵志诚 《美国生物医学界的MEMS器件的应用和研究动向》PDF+DOC1996年第06期 黄智伟 ,李富英 《MEMS传感器性能提高相关技术研究》PDF+DOC2003年第01期 黄树森,李昕欣,王跃林,鲍敏杭 《我国传感器产业化发展的现状、机遇和前景》PDF+DOC2002年第10期 陈克铭 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC2002年第01期 赵晓峰,温殿忠

    • 概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程 ，分析了MEMSCAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题 ，讨论了目前经常采用的各种模拟系统的模拟形式和应用范围。并结合静电微马达与微米 纳米镊子实例 ，分析了模块化的CAD软件结构形式以及所用MEMS材料的数据库建立和应用连接 ，所提出并采用的开发方式适用于微传感器及微执行器等微系统器件的设计与模拟。

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