作者：李栓庆 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》1997年第02期 页数：12页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ702.0010 DOC编号：DOCBDTQ702.0019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了微电子机械系统的四种基本制作技术，即本体微机械加工、表面微机械加工、铸模工艺和晶片键合工艺。重点讨论了实现微系统突破的集成工艺技术。最后简单概述了传感器、执行器和微电子机械系统的发展现状

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