作者：孙立红 单位：航天科技集团公司九院七七一所 出版：《微电子学与计算机》1994年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXYJ404.0140 DOC编号：DOCWXYJ404.0149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文简单地评述了微传感器和执行器的发展概况。

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