《硅微机械谐振式传感器起振机理分析》PDF+DOC
作者:李志能,陆献尧,张维卫
单位:浙江大学
出版:《浙江大学学报(工学版)》1994年第03期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZDZC403.0010
DOC编号:DOCZDZC403.0019
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本文描述了激光束与硅桥作用产生的光弹、光热和光生电致张力效应.从基本的光生载流子方程和热扩散方程出发,分析和计算了各效应在桥上产生应力的大小,表明光生电致张力效应是硅桥起振的主要原因.
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