作者：胡雪梅,王宏颖 单位：西安航空学院 出版：《西安航空学院学报》2006年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXHGZ2006030090 DOC编号：DOCXHGZ2006030099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《微电子机械技术的发展与现状》PDF+DOC2001年第06期 杨宏,王鹤 《MEMS阔步迈入新世纪》PDF+DOC1999年第04期 谢中生 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫 《行业信息》PDF+DOC1999年第07期 《微型运载系统构成原理的研究》PDF+DOC1996年第03期 崔天宏,王立鼎,吕琼莹 《微电子机械系统及硅微机械加工工艺》PDF+DOC2003年第05期 洪永强,蒋红霞 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC2002年第01期 赵晓峰,温殿忠 《微电子机械系统/微光学电子机械系统的特性及应用》PDF+DOC2001年第04期 李萍 《微机电系统技术的研究现状和展望》PDF+DOC2011年第04期 严宇才,张端

    • 在介绍了微电子机械系统的起源和特点的基础上，对微电子机械系统的加工、封装测试、及应用进行了较全面的论述，提出和展望了其广阔的发展前景。

    📙 相关资料

    1. 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC 本文介绍了 MEMS 的基本概念、基本特征和理论基础，并结合 MEMS 的发展史和制造技术，对MEMS 的应用领域作了重点阐述，最后对 MEMS 的发展前景和产业化的挑战作了分析。...
    2. 《微电子机械技术的发展与现状》PDF+DOC 文章回顾了微电子机械技术的发展历程和研究内容 ，介绍了国内外一些具有发展前景的微电子机械系统 ，以期揭示未来的发展方向...
    3. 《MEMS阔步迈入新世纪》PDF+DOC 介绍微电子机械系统的应用领域，披露其市场营销规模，展望21 世纪初叶前景...
    4. 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC 概述了微机电系统的结构和特点，介绍了微机电系统的研究和应用领域。...
    5. 《行业信息》PDF+DOC MEMS/MST的商品化 在过去的几年中，我们已经看到了在微电子机械系统(MEMS)和微系统(MST)领域中发生的巨大变化。据估计，全球MEMS/MST1998年的市场规模在60～140亿美元，到2002年预计能达到380亿美元。全世界有600多家企业、大学、研究机构目前正在从事MEMS/MST的研......
    6. 《微型运载系统构成原理的研究》PDF+DOC 概述国际上微系统研究的现状，探讨微型运载系统的基本组成及其研究内容，指出微型运载系统的研究方法和关键技术，最后阐明深入研究的实际意义。...
    7. 《微电子机械系统及硅微机械加工工艺》PDF+DOC 微电子机械系统(MEMS)是一项21世纪可以广泛应用的新兴技术。硅微机械加工工艺是近年来随着集成电路工艺发展起来的MEMS主流技术。介绍了MEMS的特点、国内外MEMS的发展现状，讨论了MEMS的三种加工方法，着重探讨了硅微机械加工中常用的腐蚀、键合、光刻、氧化、扩散、溅射等工艺。...
    8. 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC 在阐述ＭＥＭＳ技术的基本概念、意义、传感ＭＥＭＳ的基本模型和国内外研究状况的基础上，重点阐述 ＭＥＭＳ技术的加工工艺及在未来的发展景前景．...
    9. 《微电子机械系统/微光学电子机械系统的特性及应用》PDF+DOC 本文扼要介绍微电子机械系统和微光学电子机械系统的功能、主要产品的特性、可应用领域及未来发展趋势。...
    10. 《微机电系统技术的研究现状和展望》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)是由微加工技术制造的微型传感器、微型执行器及集成电路组成的器件或系统。介绍了MEMS技术的研究背景和发展历程，着重阐述了微机电系统的核心技术和商业应用，其中特别提到了单芯片系统方面的前沿研究，最后就MEMS技术的前景和研究方向进行了探讨和展望。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。