《纳机电探针阵列与压阻式传感器集成技术研究》PDF+DOC
作者：杨尊先,程保罗,李昕欣
单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版：《传感器与微系统》2004年第01期
页数：4页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFCGQJ2004010250
DOC编号：DOCCGQJ2004010259
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给出了纳机电探针阵列与压阻式传感器集成一维阵列器件结构及工作原理；通过理论计算得到该结构的一些主要的特性参数，计算结果与ANSYS模拟结果相符合；并运用微纳机械加工技术制造出该器件。该器件将加热电阻器、压阻式传感器和硅基针尖集成于在同一超薄微细悬臂梁，通过楔形开孔的机械切断，避免了加热电阻器高温处的PN结在高温下失去电隔离作用。室温下测得该器件加热电阻器的阻值为500～600Ω，压阻式传感器的力敏电阻器的阻值为6～8kΩ。
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