作者：胡明,马家志,邹俊,张之圣 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2002年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2002040040 DOC编号：DOCYDSG2002040049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 随着微传感器的广泛应用 ，微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中。从微机械加工技术的关键工艺入手 ，分别对体微机械加工技术和表面微机械加工技术加以介绍 ，并介绍了两种分别使用体微机械加工技术和表面微机械加工技术制造的微传感器

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