作者:何建建,孙以材,潘国峰 单位:北京信息科技大学 出版:《传感器世界》2009年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGSJ2009040050 DOC编号:DOCCGSJ2009040059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文探讨了一种金属薄膜高温压力传感器的力敏电阻条的制作方法,采用氮化铝作铜衬底和金属力敏电阻条之间的电绝缘层,利用铜金属在高温条件下也能够表现出压阻特性,制作力敏电阻条。通过直流磁控溅射制作力敏电阻条,并引线,封装,进行测试,最后反应出随压力的变化电阻的变化关系。

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