作者:王雪艳 单位:中国半导体行业协会 出版:《中国集成电路》2016年第06期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJCDI2016060050 DOC编号:DOCJCDI2016060059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 单片表面微机械三轴角速度陀螺仪芯片在华润上华0.18um工艺平台上流片验证。传感器控制芯片采用自动归零和斩波两种技术减小1/f噪声和热噪声。前端放大电路不仅放大角速度信号,同时去除来自传感器驱动信号的剩余信号。

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