作者：鲍雅萍 单位：安阳工学院 出版：《安阳工学院学报》2004年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFAYXB2004020040 DOC编号：DOCAYXB2004020049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微机电系统是一种集微电子电路和微机械致动器的微小器件，微传感器的性能检测可通过对系统输入量和输出量的检测，选择合适的测试仪器和测试方法来实现。根据角频率的推导，采用频率响应方法，其结果比通过传递函数数值分析得到的谐振角频率精确得多。

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